Das System PROVE® von Carl Zeiss hat den Thüringer Innovationspreis 2011 in der Kategorie Industrie & Material gewonnen. Der Preis wurde am 24. November im Rahmen des Innovationstages Thüringen in Erfurt von der Stiftung für Technologie, Innovation und Forschung Thüringen (STIFT) verliehen.
Das Metrologiesystem PROVE®, das in der Halbleitertechnik eingesetzt wird, vermisst Photomasken, um mögliche Positionsfehler von Strukturen zu minimieren. Die fehlerfreie Positionierung der Strukturen ist eine wesentliche Voraussetzung für das Funktionieren von Computerchips. Fast alle in größerer Stückzahl hergestellten Chips werden mit Hilfe eines photolithographischen Verfahrens hergestellt. Photomasken spielen dabei eine wesentliche Rolle, da sie das Chipdesign enthalten. Alle Positionen, Größen und Abstände von den im Design enthaltenen Strukturen sind in den Photomasken vordefiniert. Die Maske als wesentliches Element des Chipherstellungs- prozesses muss deshalb höchsten Qualitäts- ansprüchen genügen.
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Metall, die internationale Fachzeitschrift für Metallurgie, konzentriert sich auf die NE-Metalle. Im Mittelpunkt stehen die Basismetalle Kupfer, Zink, Aluminium, Magnesium, Blei,Titan, Nickel und Zinn aber auch Technologie-, Edel- und Sondermetalle sowie Edel- und Spezialstähle.
In der Zeitschrift World of Metallurgy – ERZMETALL erscheinen technisch-wissenschaftliche Originalarbeiten, die sich mit der Aufbereitung und Verhüttung bis hin zur Verarbeitung, vorrangig von NE-Metallen befassen. Weitere Schwerpunkte bilden die Metallanalyse und spezielle Bereiche der Umwelttechnik.
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Die Berichterstattung der World of Mining umfasst die gesamte Breite der bergbaulichen Rohstoffgewinnung. Dazu gehören die Lagerstättengeologie, die Planung bergbaulicher Anlagen, die Gewinnung, Förderung, Veredlung und Nutzung sowie die sowie die Rekultivierung und Altlastensanierung.
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