Erfolgreiches erstes Jahr für europäisches Halbleiterprojekt SEAL

FRT mit Partnern Siltronic AG und Fraunhofer-Institut schneidet sehr gut ab

Ein positives Fazit gab es für das EU-finanzierte Projekt „Semiconductor Equipment Assessment Leveraging Innovation“ (SEAL) nach dem ersten Jahr. Bei dem 12-Monats-Report, durchgeführt von der EU und dem Review-Team, schnitten Fries Research & Technology (FRT), die Siltronic AG und das Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) sehr gut ab. Die Konstellation dieser Partner zeigt die Intention des Projekts: die gemeinsame Förderung der Marktreife innovativer und produktionsfähiger Anlagen sowie deren Entwicklung in Zusammenarbeit mit Anwendern und Herstellern. Mit den 38 Projektpartnern aus ganz Europa ist es möglich, die „kritische Masse“ für erfolgreiche Forschung und Entwicklung zusammen zu bringen. Dabei sollen vor allem kleine und mittelständische Unternehmen unterstützt werden, die von dem umfangreichen Netzwerk aus führenden europäischen Halbleiterherstellern, Materialproduzenten und verschiedenen Forschungseinrichtungen profitieren können. SEAL will die starke europäische Infrastruktur im Bereich der 300-Millimeter-Wafer nutzen. Das Projekt hat eine Laufzeit von drei Jahren und verfügt über ein Gesamtbudget von mehr als 14 Millionen Euro. FRT bringt sein Know-how in der optischen Multisensor-Oberflächenvermessung und Wafer-Metrologie ein. „Das erste Jahr hat gezeigt: Wir können gemeinsam Impulse setzen“, zeigt sich Dr. Thomas Fries von FRT überzeugt.